Als Mikrowaagen bezeichnet man Analysenwaagen, deren Teilung bei 0,001 mg (1 µg) oder kleiner, liegt. Mikrowaagen werden üblicherweise für chemische Analysen, wie beispielsweise in der Thermogravimetrie, verwendet. Der Wägebereich liegt meist bei 3 bis etwa 50 Gramm Last. Spezielle Formen von Mikrowaagen werden in der Grundlagenforschung zur Messung kleinster Massen verwendet.
Ultramikrowaagen sind in chemischen und physikalischen Laboren die genauesten Waagen. Die Teilung liegt bei 0,1 µg und kleiner. Der Wägebereich beträgt meist nur 2 bis 3 Gramm.